| 参数 | 4吋规格 | 6吋规格 | 8吋规格 |
| 波长 | 365nm | 365nm | 365/405nm |
| 有效面积 | Ф110mm | 160x160mm2 | 205x205mm2 |
| 照度 | 5-55mw/cm2&365nm | 5-40mw/cm2&365nm | 5-50mw/cm2&365nm |
| 不均匀性 | ≤3% | ≤3% | ≤4% |
| 工作距离 | 100mm（兼容50-150mm） | 320mm(兼容200-400mm) | 250mm(兼容200-400mm) |
| 外形尺寸 | 718x290x452mm（长x宽x高） | 467x280x460mm(长x宽x高) | 530x388x562mm(长x宽x高) |
| 应用场景 | IGBT、MOSFET、二极管、整流桥功率器件等曝光 | IGBT、MOSFET、二极管、整流桥功率器件等曝光 | 玻璃金属网格线路、GPP功率器件等 |
